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​新材料半导体废气处理-凯发k8官网下载客户端中心

文章出处:行业资讯 责任编辑:东莞市永绿环保工程有限公司 发表时间:2022-08-26
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新材料半导体废气处理

新材料半导体废气处理​


半导体作为新材料行业的代表之一,对操作间的洁净度要求极高,通常采用风机抽取工艺过程中挥发的各种废气。因此,半导体具有排气量大,排放浓度低的特点。这些排放物可分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

rto再生式焚烧炉设备,简称“rto设备”,是一种利用高温破坏焚烧的废气处理技术。一般用电和天然气作为加热能源。废气处理虽然是在700℃的高温下使用,但实际上消耗的能量很少。这是因为该设备可以回收热能,大大降低能耗,提高废气分子的燃烧反应速率。设备主体由燃烧室、陶瓷填充床和换向阀组成。设备的净化效率也稳定保持在99%以上。
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